平面电子源的研究

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该论文是关于平面电子源的研究.该电子源由欧姆接触电极、N型硅、多孔硅层和金电极构成.研究结果可以看出用多孔硅阴极阵列做平面次序阴极发射体有多优点:样品的制备工艺简单,工作电压低.如果做进一步改进,可以获得较好的发射电流.所以说这种新型的平面电子源在真空微电子技术特别是在平面显示领域有很大潜力和很好的前景.
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