激光等离子体极紫外光源在极紫外光刻、生物成像、软X射线光谱学以及水窗成像等方面都起着至关重要的作用。相比于其它方式产生的极紫外光源,激光等离子体光源具有亮度高、体积小、稳定性强及易控制等优点受到研究人员的青睐。通过对金属铝（Al）、铋（Bi）、锡（Sn）靶材表面进行激光烧蚀加工制备金属凹槽靶。使用纳秒激光辐照凹槽靶,得到了较强的极紫外光辐射。凹槽靶参数（凹槽深度、凹槽宽度）及激光参数（激光能量、聚焦光斑尺寸）是极紫外光辐射强度的两个重要方面因素。为了获得产生极紫外光输出最佳的实验条件,需要对这两方面参数进行优化。因此,本文系统地研究了凹槽靶及激光参数对极紫外光辐射强度的影响。一方面,制备了Al、Bi、Sn三种具有不同凹槽深度和宽度的结构靶,获得了激光凹槽靶等离子体极紫外光谱。通过改变凹槽靶结构参数对极紫外光谱相对强度进行优化,分别得到三种靶材的最佳凹槽深度和凹槽宽度。Al凹槽靶的最佳凹槽深度为150μm、最佳凹槽宽度为100μm、对应最适合的入射激光能量为750m J,可得到相比于Al平面靶2.03倍的极紫外辐射强度。Bi凹槽靶的最佳凹槽深度为100μm、最佳凹槽宽度为200μm、对应最适合的入射激光能量为300m J,可得到相比于Bi平面靶1.44倍的极紫外辐射强度。Sn凹槽靶的最佳凹槽深度为100μm、最佳凹槽宽度为300μm、对应最适合的入射激光能量为500m J,可得到相比于Sn平面靶1.57倍的极紫外辐射强度。同时,发现凹槽Al靶的最佳凹槽宽度不依赖于入射激光能量;凹槽Bi靶和凹槽Sn靶的最佳凹槽宽度对应着最合适入射激光能量,其凹槽宽度越大,对应入射激光能量越大。另一方面,在获得最佳凹槽尺寸条件基础上,通过调节激光参数对其极紫外光辐射强度做进一步的优化。一方面,改变入射激光能量,发现随着激光能量的增大,Al、Bi、Sn三种凹槽靶的极紫外光辐射强度均增加。另一方面,通过移动透镜位置控制聚焦到靶材上聚焦光斑尺寸。结果发现,随着聚焦光斑直径的增大,Al结构靶极紫光辐射强度减小,Bi和Sn结构靶极紫外光谱强度则先增加后减小。此外,利用ICCD相机对凹槽靶激光等离子体的时间演化情况进行成像。发现相同延时条件下,结构靶的等离子体辐射亮度比平面靶的亮度大。这很好地说明了结构靶凹槽壁能够有效抑制等离子体膨胀,维持较高的等离子体浓度,提高极紫外光辐射强度。综上可得,凹槽靶对极紫外光辐射有增强效果,是有潜力的极紫外光源。这项工作为凹槽靶激光等离子体极紫外光源在极紫外光刻、生物成像以及软X射线光谱学等领域的应用奠定了基础。