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随着社会对清洁能源的需求愈加迫切,温差发电技术越来越受到人们的重视,热电器件应用得以不断推广,人们对于半导体材料与金属电极之间接触电阻的低阻性要求越来越高。在目前热电器件半导体材料取得突破性进展之前,可设法通过改进材料内部结构,改善生产工艺等方法以优化其性能,提高温差发电转换的效率。而目前对于接触电阻的绝大多数研究仅仅停留在电阻数值这一层面上,没有对其接触的微小区域的电阻变化趋势和变化规律进行测量研究,无法为改善生产工艺等提供理论支持,因此对于微小区域接触电阻阻值检测并分析其变化规律具有重要的意义。