【摘 要】
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射频微电子机械系统(RF-MEMS)技术在射频(RF)通信领域的应用正在得到广泛的重视。作为射频电路的重要元件，高Q值电感已经成为RF-MEMS器件研究中的热点。本论文对在不同硅衬底上获得高Q值电感进行了深入的研究；提出了一种在低阻硅衬底上形成氧化多孔硅厚膜来隔离硅衬底损耗的硅基平面电感结构；最后分别在氧化多孔硅厚膜隔离的低阻硅衬底和高阻硅衬底上制作出了高Q值Cu电感。论文首先对RF-MEMS平面
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射频微电子机械系统(RF-MEMS)技术在射频(RF)通信领域的应用正在得到广泛的重视。作为射频电路的重要元件，高Q值电感已经成为RF-MEMS器件研究中的热点。本论文对在不同硅衬底上获得高Q值电感进行了深入的研究；提出了一种在低阻硅衬底上形成氧化多孔硅厚膜来隔离硅衬底损耗的硅基平面电感结构；最后分别在氧化多孔硅厚膜隔离的低阻硅衬底和高阻硅衬底上制作出了高Q值Cu电感。论文首先对RF-MEMS平面电感的物理模型进行了研究，给出了电感Q值和L值的计算方法，从模型出发分析了电感尺寸和
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纳米尺度气体薄膜润滑理论与技术在计算机硬盘磁头/磁盘系统和微/纳机电系统的界面设计中有着广泛的应用前景,是纳米摩擦学研究的一个前沿领域。为开展纳米尺度气体薄膜润滑理论的研究,本文首先研究了纳米尺度下的气体微观行为和输运特性与宏观尺度下的差异,提出了纳米尺度效应函数,实现了对因尺度缩小带来的气体物理行为的数学描述,并成功地修正了非平衡态气体统计力学中的 BGK 碰撞模型,探讨了纳观气...
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地质力学模型试验,是数值方法之外的岩体工程稳定性分析的另一种重要研究手段。而模型材料作为模型主体,其特性又在很大程度上决定了试验的可行性。三维模型试验内部物理量的量测,也是试验能否取得成果的重要前提。在某大型地下厂房洞室群的三维模型试验中,NIOS(Natural Iron Ore & Sand)这种以天然铁矿粉和砂为主体的新型模型材料,和几种内部物理量的量测方法,已初步得到成功地应用。但仍有某些
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