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煤炭作为我国主要能源之一,在能源行业中占有主导地位。在煤炭生产中,煤矿安全事故,特别是煤矿瓦斯事故给人民的生命安全和财产安全带来了巨大的威胁。随着智慧化矿山建设的迫切需求,研究新型瓦斯传感器对煤矿安全具有重要意义。由于声表面波瓦斯传感器具有灵敏度高、体积小、易于集成化和无线化等优势,在煤矿安全监测中彰显出巨大优势。本文针对声表面波瓦斯传感器关键气体敏感薄膜进行研究。通过改变实验条件和掺杂比例分别制备SnO_2、Sb掺杂SnO_2、Ni掺杂SnO_2敏感薄膜,并对其进行性能表征及吸附机理理论计算。本文