多层膜微结构的表征

来源 :中国科学院物理研究所 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wdw_king
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以X射线技术为主要表征手段,结构SEM(扫描电镜)和AFM(原子力显微镜)分析了ECO(Eu<,2>CuO<,4>)缓冲层对YBCO(YBa<,2>Cu<,3>O<,7-δ>)超导薄膜的微结构的影响.采用XRD(X射线衍射)和XRF(X射线荧光)技术分析了在NiFe/FeMn界面处掺入不同厚度的Bi以及Bi/[NiFe/FeMn]<,15>和[Bi/NiFe/FeMn]<,15>的微结构.结合Raman散射和X射线技术分析了立方GaN薄膜结构.上面结果也表明,采用Raman光谱和X射线技术相结合可以分析立方GaN的微结构.
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