【摘 要】
:
随着微电子技术的快速发展,多功能雷达变频模块向大规模集成、微型化、高效率、高可靠性等方向发展,其系统集成度的提高导致电子器件功率密度增加,而有效的电子封装必须解决微电子系统的散热问题。目前,通过降低系统温度方法无法从根本上解决问题,必须开发具有高热导率及良好综合性能的新型封装材料基片。作为变频模块首选之一的氮化铝陶瓷基片,具有散热性能优、立体布线密度高、电磁屏蔽效果好等优良性能,然而其微结构高质高
论文部分内容阅读
随着微电子技术的快速发展,多功能雷达变频模块向大规模集成、微型化、高效率、高可靠性等方向发展,其系统集成度的提高导致电子器件功率密度增加,而有效的电子封装必须解决微电子系统的散热问题。目前,通过降低系统温度方法无法从根本上解决问题,必须开发具有高热导率及良好综合性能的新型封装材料基片。作为变频模块首选之一的氮化铝陶瓷基片,具有散热性能优、立体布线密度高、电磁屏蔽效果好等优良性能,然而其微结构高质高效加工难题亟需解决。本研究以氮化铝陶瓷硬脆材料为研究对象,开展其表面孔的短脉冲激光精密加工技术研究。本文研究了飞秒激光直冲式孔加工及纳秒激光旋切式孔加工的方法,在直冲加工中重点研究了氮化铝陶瓷的激光烧蚀阈值与多脉冲累积效应对烧蚀阈值的影响规律,飞秒激光加工氮化铝陶瓷表面孔形成过程、多参数(包括单脉冲能量、脉冲个数及重复频率)影响下孔的加工质量及直冲式加工参数的优化;在旋切加工中主要研究了多个基础加工参数(包括扫描速度、扫描次数、激光功率及重复频率等)对孔加工尺寸及形貌的影响规律,以及在优化基础参数的前提下开展旋切轨迹参数(跳转方向、扫描模式及旋切线间距)的设计及优化,并对旋切加工过程中材料的去除机理进行讨论。在单孔加工工艺优化的基础上,进行在工业标准尺寸厚度为0.25 mm、0.38 mm及0.5 mm的氮化铝陶瓷基片表面入口直径为30μm~500μm的大面积群孔加工,最后与中国电科38所合作,以实验制备的带有大面积群孔的氮化铝陶瓷作为基底,设计并制作了滤波微带传输线器件,测试结果表明其在10 GHz附近的插入损耗小于1 d B,回波损耗大于15 d B,其性能符合雷达变频模块的使用需求。研究过程中探索了氮化铝陶瓷表面通孔加工工艺,解决了陶瓷封装基片加工过程中存在的加工精度较差、缺陷较多等关键问题,为硬脆材料激光加工提供了可靠的技术支持。
其他文献
目的:通过回顾研究慢性心力衰竭的证型及证素,系统总结慢性心力衰竭的各中医证型在近10年内的分布规律,探索证型分布与疾病病程及预后之间的关系。为慢性心力衰竭流行病学及中医证的相关规律研究提供客观依据。材料与方法:本研究选取辽宁中医药大学附属第二医院心一科、心二科、CCU病房2011.01月—2020.12月明确诊断为慢性心力衰竭且有确切中医诊断并有具体证候分型的患者的住院病例共2829例,对其中医证
选区激光熔化(SLM)作为一种先进的增材制造技术,能够实现金属零件的快速成形制备,在诸多行业中都有应用。特别在模具行业中,其可以获得具有性能优良、零件内部结构高度自由化等特点的金属模具,目前正成为3D打印工业发展中的一个热门方向。金属基复合材料因其具有良好的力学性能,能够满足工业对材料日益严格的性能要求,越来越受到行业内的广泛关注。因此,本研究以P20塑料模具用钢为金属基体,利用SLM技术制得P2
<正>【文题展示】阅读下面的材料,根据要求写作。作为13名首批入选中国航天员大队的队员之一,被称为中国航天员“超级替补”的邓清明,在2022年11月29日终于圆梦太空。这一年他56岁。他的航天梦坚持了25载,很瑰丽,很漫长,很执着,也真的很不容易。2006年,邓清明的女儿看着同学的爸爸费俊龙、聂海胜成功飞天,她哭着问邓清明:“为什么你总是上不了天啊?”2016年,邓清明再次落选正式飞天乘组。
钛合金凭借其自身密度低和比强度高等诸多优点,广泛应用于交通、医学、工业等各个领域,但是与此同时,钛合金表面性能较差的缺点也渐渐凸显出来。本文选用的熔覆材料为Al2O3粉末、TiO2粉末、Ni粉混合而成的复合粉末,通过激光熔覆在Ti-6Al-4V合金基体表面制备Al2O3/TiO2-Ni涂层,并着重分析激光工艺参数(激光功率、扫描速度)对Al2O3/TiO2-Ni涂层表面形貌和稀释率的影响,以此确定
目的:为传承和发扬名老中医的治疗经验,本研究应用中医传承计算平台V3.0系统分析王长洪教授治疗溃疡性结肠炎的病案处方,对处方中使用药物的性味归经、频次、剂量、功效分类等进行统计分析,总结出王长洪教授辨治溃疡性结肠炎的组方规律和临床经验,为临床治疗本病提供新思路。材料与方法:1.收集王长洪教授治疗溃疡性结肠炎的门诊病案,选取符合纳入标准的150例患者病案资料,共计200处方,运用Office Exc
目的:基于大接经针法用以治疗中风偏枯的历史沿革及其疏通十二经脉的气血,总督一身之气血阴阳的理论基础,探讨大接经针法联合运动疗法及下肢康复机器人训练对卒中后恢复期偏瘫的临床疗效,期望能对现今卒中后恢复期偏瘫的治疗方案进行优化,提高临床疗效并推广应用于临床治疗当中。同时由于大接经针法治疗卒中后恢复期偏瘫的临床研究较少,故期待能为大接经针法治疗此类病症提供临床参考数据依据。材料与方法:本次研究采用简单随
随着电子行业在人类的生活中占比越来越重,便携式电子设备正朝着多元化的方向进展,同时人类对电子设备的需求也随之迅速增加,一些便携式可穿戴电子设备也随之应运而生。因此,为这些电子产品提供电力的能源设备也是必须朝着柔性、轻巧、高效等方向发展。柔性能源设备制造的核心技术是通过器件封装技术使电极具有柔性。其中,对柔性能源设备的电化学性能影响的关键在于电极材料的类型、结构和组成。目前,大多数自支撑电极材料不仅
目前,锂电池己经在人们的日常生活中得到了广泛地应用。但所采用的可燃性有机电解液导致了锂电池在反复使用和储存过程中存在安全问题,所以不含有机溶剂的固态聚合物电解质被研究人员所提出,高安全性全固态锂电池也是未来重要发展方向。聚氧化乙烯(PEO)是目前研究最为广泛的固态聚合物电解质的基体材料,然而,PEO基聚合物电解质的在室温下低的电化学性能,导致其难以发展。本文旨于开发高电化性能的全固态锂电池。引入一
目的:对冠心病PCI术后伴焦虑症患者中医证型分布情况进行探讨、总结,并对冠心病PCI术后患者的一般资料、合并疾病、支架数目与焦虑症之间的相关性进行分析。方法:将辽宁中医药大学附属第二医院心内一科2021年4月1日至2021年12月31日门诊及病房就诊的冠心病PCI术后患者作为调查对象,应用“三问法”[1]对患者进行心理问题筛查,对3个问题中有2个回答“是”的患者,进行焦虑量表测评,符合纳入标准、不
目的:应用16S rDNA技术,从肠道菌群角度探讨益气化痰活血方对自身免疫性甲状腺炎(AIT)小鼠的作用机制;利用网络药理学预测益气化痰活血方治疗AIT的作用机制。材料和方法:第一部分:选取6-8周龄CBA/J雌性小鼠15只适应性喂养一周后,随机分为对照组(DZ)、模型组(MX)、益气化痰活血方组(ZY),每组各5只,DZ组每只小鼠给予皮下多点(背部皮下、颈部皮下、腹部皮下)注射磷酸缓冲盐溶液(P