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该文通过对焦扫描显微术的基本理论进行分析和研究,在现有的条件下,制成在实验中可以进行实验应用的系统.并对激光束质量与检测;扫描成象系统的光路、机械与电路的设计与实验;共焦光路设计与层析作用实验研究等作了较深入的实验研究和理论分析,最后对样品(铬板光栅)作了实验检测,获得较满意的结果,达到了予期的目的.