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该论文研究工作主要集中于将严格的耦合波分析方法(RCWA:Rigorous Coupled Wave Analysis)用于各种光栅的分析设计中,研究内容包括分频光栅的RCWA分析、分频光栅的各种工艺误差宽容度分析、采样光栅的设计及其RCWA用于近似周期分析模型.
衍射光学中的严格耦合波分析方法
【摘 要】
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该论文研究工作主要集中于将严格的耦合波分析方法(RCWA:Rigorous Coupled Wave Analysis)用于各种光栅的分析设计中,研究内容包括分频光栅的RCWA分析、分频光栅的各种工艺误
【机 构】
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中国科学技术大学
【出 处】
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中国科学技术大学
【发表日期】
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2004年期
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