55纳米铜互连缺陷问题的解决方法研究

来源 :上海交通大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yiwei
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
随着技术节点按照摩尔定律持续降低,特征尺寸进一步缩小,后段集成工艺普遍引入低介电介质材料的多层铜互连工艺以降低Rc延迟带来的影响,但同时也带来了更为复杂的制造工艺。集成电路不断往高密度的方向发展也使得芯片对缺陷的容忍度越来越低,缺陷问题成为良率损失的主要原因之一。本文针对笔者所在公司55纳米平台铜互连工艺的主要系统性缺陷问题进行了深入研究,提出了有效的改善方案。其中针对薄膜工艺造成的晶边剥落缺陷问题,通过合理选择搭配暗场缺陷检测偏振过滤和傅里叶过滤技术,解决了Cu hillock带来的干扰。采用湿法清洗晶背的方式将缺陷数量降低了83%。并优化了基准工艺条件,使用新工艺条件清洗10次后光刻找平数据范围改善了95%。针对电镀铜工艺造成的空洞问题,创新的引入了NDC后的亮场缺陷检测,解决了因为长时间等待造成的铜结晶带来的干扰。实验数据表明较薄的阻挡层配合较厚的种子层,可以满足后续电镀铜对阻挡层和种子层的台阶覆盖要求。进入阶段高电流密度的稳定性和更强的添加剂,都可以提高铜填充能力。新工艺条件下缺陷改善了67%。针对铜研磨工艺造成的晶边失焦问题,采取了增加网格图形密度修复方式修复版图热点,扩大了CMP工艺窗口。同时优化了研磨头压力参数,新工艺条件的缺陷数量改善了83%。以上技术难题的研究和解决,不但提升了产品良率,更进一步提升了公司55纳米工艺平台的健康度。问题研究中提出的改善方向和解决方法也为公司28纳米工艺的研发提供了宝贵的资料,具有重要的参考意义。
其他文献
随着有源集成天线在通信技术中的广泛应用,对有源集成天线的研究在不断深入,但是仍然难以满足越发广泛的应用需求。首先当前现有的有源集成天线设计多集中于单频设计,不能很好的满足目前市场对多频多功能系统的需求;其次,在集成化设计中怎样更好地兼顾有源集成天线的高集成化和高性能仍然需要探索;最后,现有的有源集成天线仿真方法,不能十分完善精准的仿真分析有源集成天线的各种参数特性,不利于设计者快速高效精准地仿真设
近年来,有源矩阵有机发光二极管(active-matrix organic light emitting diode,AMOLED)显示在全球显示市场所占比重逐年上升,有取代传统液晶显示(liquid crystal display,LCD)成为新一代显示技术的趋势。与传统液晶显示相比,AMOLED显示具有显示质量好、功耗低、可柔性化等优势。然而,目前的AMOLED显示技术主要面临显示均一性的问题
微波有源技术产品中最有代表性的一类产品就是固态功率放大器,其具有放大微波信号的功率,控制其增益和相位等功能,是数传通信和雷达等系统的关键设备之一。固态放大器的输出功率、效率主要取决于功率合成放大器,随着第3代宽禁带半导体材料的发展,新一代的氮化镓微波功率场效应晶体管常作为核心微波功率放大器件,氮化镓功率器件具有输出功率大,工作频率高,功率附加效率高等优点。固态功率放大器单机的效率是微波输出与输入功
随着无线电通信技术的不断发展,频率合成技术越来越广泛的应用于雷达制导和通信等设备中。在频率合成技术中,倍频技术是可以实现高稳定性、低噪声频率合成器的常见应用技术。倍频链路的性能也可以直接影响频率合成器的信号质量,从而影响雷达通信的性能指标。如今市场上对小型化、微型化的频率合成器件的要求也越来越迫切。本课题设计了一款新颖的X波段倍频链路,采用两级倍频链路的方式级联而成,两级倍频电路的研究、设计和实现
随着高密度集成技术的不断发展以及电路系统工作速率的持续提高,不同的芯片和组件之间会产生电磁干扰(EMI),严重危害电路系统的电磁兼容性。使用EMI近场扫描系统获取辐射源的电磁辐射信息并准确定位辐射源,是研究电磁干扰问题的一种重要途径。近场扫描系统主要包含了探针、线缆、放大器及测量仪器等器件。计算得到近场扫描系统的系统因子是将测量电压转换为待测场强的关键。近场扫描系统的系统因子被定义为在不同频率点探
表面肌电信号是人机接口的重要信号源,特别是在假肢控制领域。灵巧假肢可以帮助截肢病人进行肢体功能的重建。然而,当前主流的模式识别假肢控制方法,常因电极偏移和肌肉疲劳等因素,在实际应用中面临性能下降的问题。近年来,基于高密度表面肌电信号的运动单元分解算法由于可以获得更加本源的神经驱动信息,逐渐成为假肢控制研究热点。但是,高密度肌电采集设备系统复杂,体积庞大,价格昂贵,难以集成到假肢中。另一方面,便携式
全息显示(Holographic display),通过记录和再现物光场的全部信息使得观察者感受到一种和真实自然的场景般生动的三维视觉。目前研究工作者将焦点更多地集中在如何实现全息大视场角、高分辨率、高刷新率的动态显示中。与此同时,随着对全息显示研究的深入,以光折变材料为全息记录介质实现动态全息显示的研究被认为是具有发展前景的技术。论文主要研究工作是“利用量子点掺杂液晶材料实现高帧频刷新的全息三维
硅基光电子技术凭借着高密度、低功耗、低成本以及兼容CMOS集成电路工艺的优点,已经得到了迅速发展。微波光子学则是利用光电子技术来实现微波信号处理,具有带宽大和抗干扰能力强等优点,近年来受到了广泛关注和研究。利用硅基光电子技术进行微波光子系统的集成,可以综合光电子与微波技术领域各自优点,是将来微波光子学发展的一个重要方向。不管在数字光通信链路还是微波光子链路中,电信号到光信号的转变都离不开调制器。在
简要介绍了生态纺织产品的检测分析情况。对紫外可见分光光度计的基本概念、仪器原理及特点进行了解析。重点对紫外可见分光光度计在生态纺织产品检测分析中的应用进行了剖析。希望研究结果可以为从事生态纺织品的研究人员或相关检测人员提供有利的帮助。
论文的主题是手性聚合物稳定蓝相液晶的特性研究,包括透过率、布拉格反射等光学特性,驱动电压、科尔常数、响应时间等电学特性,还具有热稳定特性、材料特性等,全方位研究手性聚合物稳定蓝相液晶。首先我们介绍蓝相液晶,从分子排列和晶格结构上讲,蓝相液晶可视为一种拥有自组装能力的三维光子晶体,具备双扭曲螺旋的结构。从各个相态的温度范围上看,蓝相液晶位于各向同性相和手性向列相之间,因为其较弱的热稳定性,温度范围通