基于多面体网格的集成电路寄生参数提取

来源 :安徽大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：shilei41193

【摘要】

：

随着集成电路的不断发展,特征尺寸不断减小,导致互连寄生效应愈加的显著,特别是当器件的特征尺寸降至纳米级后,互连寄生参数提取逐渐成为集成电路发展过程中面临的首要问题。在包含电磁场在内的各种工程场中,有限元法是应用最广泛、最重要的数值分析方法,其拥有成熟的算法理论,并且效率与精度都非常高。由于应用的多样化,出现了较为复杂几何结构,使用三角形单元处理这类问题时,自由度数量多,计算变的复杂,导致数值计算的

【作者】

：

苑淑华

【出处】

：

安徽大学

【发表日期】

：

2019年07期

【关键词】

：

多边形有限元法电容参数提取插值函数

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