【摘 要】
：
提高光学光刻分辨力是现代光学光刻技术研究的核心内容,而提高光刻分辨力的主要手段是进一步增大光刻物镜的数值孔和进一步缩短曝光波长,其后果必然是焦深相应缩短.寻求充分
论文部分内容阅读
提高光学光刻分辨力是现代光学光刻技术研究的核心内容,而提高光刻分辨力的主要手段是进一步增大光刻物镜的数值孔和进一步缩短曝光波长,其后果必然是焦深相应缩短.寻求充分利用有限焦深并保证全视场有高调焦精度的逐场调平技术已成为近年来高分辨力光刻技术的主要研究课题之一.该文提出一种视频图象逐场调平调焦方法,介绍其多点测量的原理并推导设计公式,进行误差分析讨论逐场调平的实现条件,研究逐场调平运动量控制算法,讨论投影光刻机的坐标系并建立逐场调平时的套刻步进模型.
其他文献
随着我国快速增长的车用燃料需求与我国“贫油、少气、富煤”的能源结构之间的矛盾日益突出,由此产生的环境污染与经济情况受到了严峻的挑战。因此,研究新型车用燃料来解决传
高速铁路迅速发展对无线通信系统的服务质量提出了更严格的要求。如何能够保证为高速移动的列车提供实时安全可靠的无线信息数据传输通道以及为旅客提供方便高效的无线宽带接
进入21世纪以来，随着我国城市轨道交通事业的蓬勃发展和计算机技术的普遍应用，如何利用先进的计算机技术加强城市轨道交通建设的工程项目管理工作就成为了一项很有现实意义的课
现代超精加工的发展和生产自动化程度的提高,对表面粗糙度在线检测提出了迫切的要求.该文围绕利用光探针法在线测量表面粗糙度展开研究工作.在分析几种典型的精加工表面的微
该文主要内容包括光学二次谐波和相位共轭波两种主要的非线性光学现象中的混沌机理及其混沌控制的研究.在该论文中主要做了四方面的工作:理论模型讨论和稳定性分析,混沌机理
金融作为经济社会的组成结构,是建设现代经济社会的基石,推动和发展了现代新农村建设.由于凉山彝区经济发展相对落后,对发展农村金融支持较晚,农村金融不能满足地区新农村建
半导体泵浦的全固态绿光激光器具有体积小、效率高、结构简单等优点，在医学、工业加工、军事等各个领域都有着广泛的应用前景。本论文主要采用LD端面泵浦Nd∶YVO4晶体，并利用LB
知识经济时代的到来加速了全球经济生产一体化的进程,使得国际金融产业的融合与合作趋势越来越明显,促成了金融电子化的产生.本文概括了知识经济与金融全球化的关系,简要分析
癫痫(Epilepsy)是一种常见的脑功能障碍性疾病,其基本病理学表现为大量神经元集群异常同步化放电,而头皮脑电和皮层脑电是脑神经电活动的反映,是研究癫痫发作的主要手段。基
本文主要研究激光加工改变钛酸锶(SrTiO3)单晶表面的浸润性。其一，采用波长为1064 nm的皮秒激光器对SrTiO3单晶表面进行刻蚀加工。分别在不同的激光输出功率、激光扫描速度和