溶胶-凝胶法制备ITO薄膜及其性质研究

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【摘要】

：

掺锡氧化铟(ITO)薄膜材料是一种锡掺杂的半导体材料,其优良的光电性能被广泛的应用于透明导电膜的制备中。目前其应用主要是采用溅射法与真空沉积法直接沉积在衬底材料上形成功能性的薄膜,从经济效益上看,这种制备工艺限制了ITO薄膜的应用。本课题是以InCl_3·4H_2O和SnCl_4·5H_2O为主要原料,采用溶胶-凝胶法和旋转涂膜工艺,在玻璃基片上制备掺锡氧化铟透明导电薄膜(ITO)。采用X-射线粉

【作者】

：

潘洪涛

【机构】

：

内蒙古师范大学

【发表日期】

：

2008年04期

【关键词】

：

掺锡氧化铟薄膜溶胶-凝胶法光学性能方块电阻

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