【摘 要】
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该文在第一章首先简要介绍了MEMS技术及其在各领域的应用和硅微加速度传感器（特别是高g值微硅加速度传感器）的发展情况,并提出了该课题设计的主要任务.第二章对压阻效应的基本
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该文在第一章首先简要介绍了MEMS技术及其在各领域的应用和硅微加速度传感器（特别是高g值微硅加速度传感器）的发展情况,并提出了该课题设计的主要任务.第二章对压阻效应的基本原理作了理论上分析和推导,描述了各种加速度传感器的工作原理和特点,分别介绍了国外和该课题设计的压阻式加速度传感器的结构形式.接下来建立了相应结构力学模型,推导了传感器的结构性能参数并对其进行计算机计算验证和优化.另外,还对电桥电阻进行了设计.第三章根据压阻式加速度传感器结构并结合该教研组流水线制定了相应的加工工艺流程和版图,并进行了加工流水、封装,制作出了传感器样品,对流水结果进行了分析和参数验证.第四章设计了传感器的测量控制电路,对传感器进行了测试,并对测试结果作出了分析,提出压阻式加速度传感器的设计改进建议.在该文最后的第五章和结束语中,分别对压阻式加速度传感器发展前景作了展望和对该课题的高g值压阻式加速度传感器设计工作进行了总结.
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