基于干涉条纹形状的二维角位移测量方法的研究

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在精密计量测试中,对小角度的测量精度提出了很高的要求。高精度的二维角位移测量系统具有广阔的应用前景。为此,本文展开研究,其核心内容主要包括两个方面:(1)基于干涉条纹形状的二维角位移测量原理与方案的研究;(2)基于干涉条纹信号处理算法的研究。其主要研究内容和所取得的研究成果如下:首先,在分析迈克耳逊干涉条纹形状(方向与宽度)与光线夹角关系的基础上,提出了一种二位角位移的测量方法。在迈克耳逊干涉原理为基础上,设计了光学二维角位移测量系统,并通过理论建模,从理论上推导了干涉条纹间距、方向与光线夹
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