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扫描探针显微镜（简称SPM）是利用探针的扫描来获得样品表面信息，它突破了传统显微镜分辨率衍射极限，使人类可以在小于亚微米的尺度上观察和研究物体的外观形貌和性质。探针作为扫描隧道显微镜的重要组成部分，直接决定扫描隧道显微镜分辨率的高低。在本论文我们尝试以普通商用光纤为材料，研究了光纤探针的化学腐蚀和化学镀镍，并利用磁控溅射ITO制备出多功能光子STM探针。具体的研究工作主要有以下几个方面：
1．光纤探针的化学腐蚀。以商用单模和多模光纤为材料，采用静态腐蚀法对光纤进行化学腐蚀得到了光纤探针。分析了温度、腐蚀时间、保护层和腐蚀液在静态腐蚀过程中对光纤探针形貌的影响，并对各种影响效果进行了理论解释。在静态腐蚀的基础上讨论了动态腐蚀法和静静两步法对光纤探针形貌的影响，克服了腐蚀轮和蜂窝状形貌，得到了光滑的光纤探针。
2．光纤探针的化学镀镍。成功利用化学镀镍对光纤探针表面进行镀膜，在SEM下观察到光滑致密的镍磷薄膜，控制不同的条件得到了开口型覆膜光纤探针和包裹型覆膜光纤探针，同时利用XPS和XRD分析了镀层成分和结构。
3．光子STM探针的制备。分别利用磁控溅射镀镍的探针和化学镀镍得到的开口型探针进行光子STM探针的制备，通过对光纤探针表面镀上一层ITO薄膜，得到了能够同时得到物质表面光子隧道谱和电子隧道谱的新型光子STM探针，并对两种探针做了比较；将经过磁控溅射镀镍后的光纤探针应用在扫描隧道显微镜上，在恒流模式下对高温裂解定向石墨进行了观察，得到了石墨的碳原子像。