柔性电阻式温度、角度传感器

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随着技术的发展,人们对提高生活质量和了解医疗状况的需求迅速增加,各种可贴附在皮肤上记录生理信号的柔性传感器被开发用于健康和医疗监测。本论文研究了以聚酰亚胺薄膜为衬底,基于蛇形线结构的柔性可贴附电阻式温度传感器和柔性可贴附电阻式应变传感器以及在此基础上构建了柔性可贴附式温度-角度传感器系统,可以附着在物体或人体表面进行温度和角度的监测。主要研究内容如下:1.柔性可贴附式温度传感器。探索了柔性温度敏感薄膜的材料选择与制备工艺,制备出了柔性可贴附式金属温度传感器并进行了优化。通过对三种不同尺寸的柔性可贴附式金属铂温度传感器进行表征和性能分析,选择出了适用于后期应用的柔性温度传感器结构。结果表明优化后的柔性温度传感器线性优度从0.549提升到0.999,0到100℃范围内最好灵敏度为0.00208/℃并且在30到40℃区间具有较好的温度分辨率。同时,优化后的柔性温度传感器在一定程度的弯曲状态下也有较好的测温精确度。2.柔性可贴附式应变传感器。探索柔性应变敏感薄膜的材料选择与制备工艺,制备了基于三种不同金属作为应变敏感薄膜的柔性可贴附式应变传感器并进行了表征,选择金属铂作为最终的材料。优化了柔性应变传感器角度测量的方法并进行了性能分析,选择出了适用于后期应用的柔性角度传感器结构。结果表明,优化后的柔性应变传感器灵敏度达到最高0.00101/°,同时显示了较好的重复性和可以利用的温度特性。3.联系实际健康和医疗监测需求,通过合理设计柔性温度传感器和柔性应变传感器的不同外形和方向,制备出了柔性可贴附式温度-角度传感器系统。该系统可以从附着的表面获得解耦、补偿和更精确的温度和角度信息。通过记录膝关节的运动和局部皮肤温度,揭示了该柔性可贴附式温度-角度传感器系统在生理活动监测、关节炎等疾病诊断中的应用潜力。
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