作为当前备受瞩目的可再生新能源之一，太阳能的利用一直是世界范围内的研究热点。太阳能光热发电是一种主流的太阳能利用方式，但其效率受制于核心部件聚光系统。针对聚光系统的研究已进行了一百余年，目前制约其聚光效率进一步提高的关键因素之一就是聚光系统中反射镜镜面面形的精度控制。具有优异可成型性和高反射率的薄膜反射材料是解决这一问题的较好方法。磁过滤阴极真空弧沉积技术（FCVAD）是一种广泛应用于精密薄膜的薄膜制备方法，相比于其他薄膜制备方法具有成膜粒子均匀、沉积能量高等诸多优势，制备的薄膜具有薄膜质量高、附着力好的优点。本文创新性将FCVAD技术引入制备太阳能高反射率薄膜材料，分别在玻璃和聚酯薄膜（PET）基材上制备了纳米级别的铝薄膜，探讨了弧流、负压、占空比和沉积库仑数等FCVAD参数对反射率及膜厚的影响，利用紫外-可见-近红外分光光度计、扫描电镜、台阶仪、拉脱法附着力测试仪等多种表征手段对所制备反射材料的反射性能、表面形貌和结构、膜厚以及薄膜附着力进行了相应的研究。结果表明：以玻璃作为基材时，铝膜的厚度和反射性能主要受弧流、负压、占空比和沉积库仑数等FCVAD参数的影响。其中，铝膜厚度与沉积库仑数之间存在极好的线性正相关关系，与弧流呈正相关关系，与负压和占空比则呈负相关关系。这些参数对于铝膜厚度的影响主要通过影响成膜粒子大小、空间结构致密性和表面排列实现。铝膜反射率与沉积库仑数之间的关系符合软件模拟结果。在一定范围内反射率随负压的增大迅速增大，负压到达一定值后保持稳定，继续增大则再次下降。弧流对于反射率的影响并不显著，在弧流较小范围内反射率随弧流的增大反射率大幅增大，但随后基本保持稳定。反射率随占空比的增大呈振荡下降的趋势。以上参数对于铝膜反射率的影响主要通过对成膜颗粒平均粒径、薄膜空间结构致密性、薄膜表面均匀性和缺陷情况以及薄膜有效光学厚度、光学常数的影响来实现。同时，此情况下制备的反射材料薄膜附着力完全满足实用要求。与磁控溅射技术相比，FCVAD制备反射薄膜在性能上具有显著优势。最后，对PET进行了离子注入+离子束混合表面预处理之后再采用FCVAD技术进行铝膜的沉积，探索了以聚合物为基底的柔性太阳能高反射率薄膜材料的制备，研究了表面预处理对该反射材料反射性能和薄膜附着力的影响。