压电陶瓷微位移器件具有位移分辨率高,输出力大,响应快,功耗小,无噪声等优点,具有非常广阔的应用前景,已被广泛应用于微电子机械、精密加工、航空航天等领域。但是压电陶瓷存在迟滞非线性特性,给其应用带来很大困难,一般的非线性方法不能十分有效地对其迟滞特性进行建模与控制。如何能更有效、更简单的对压电陶瓷迟滞特性进行建模和控制,已成为该领域的研究热点和焦点。　　本文介绍了压电陶瓷微位移驱动器及其应用现状,对压电陶瓷微位移驱动器的迟滞模型和控制技术作了较全面的分析,介绍了多种迟滞系统的建模方法,并对神经网络控制的现状和应用前景进行概述。　　从小波域(时频域)进行分析,提出了神经网络实现对迟滞特性的小波域建模方法。该模型通过一维离散平稳小波变换,获得输入、输出信号低频系数和高频系数,使迟滞对象的输入与输出转换成为单值对应关系,利用RBF神经网络进行逼近;再通过一维离散平稳小波逆变换,使逼近后的低频系数和高频系数重新回到时域,整个过程间接实现迟滞模型的辨识。经过Matlab仿真验证,所建立的模型是有效的,并具有较高的精度。　　将小波神经网络、RBF神经网络及自整定PID相结合,给出迟滞特性的综合控制策略,对压电陶瓷迟滞特性进行仿真控制。仿真研究表明,所设计的混合神经网络控制器可有效地对压电陶瓷迟滞特性进行控制。同小波神经网络直接控制和常规PID控制方法相比,该控制方法具有较高的控制精度。