【摘 要】
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通过熟悉电容式加速度传感器基本原理,并参照文献中一些典型集成加速度传感器芯片的电路结构,该文使用24所的spice参数模拟并设计了运用相关双取样技术的脉宽调制式集成加速
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通过熟悉电容式加速度传感器基本原理,并参照文献中一些典型集成加速度传感器芯片的电路结构,该文使用24所的spice参数模拟并设计了运用相关双取样技术的脉宽调制式集成加速度传感器的接口电路.在该电路中,通过将模拟输出模块和脉宽调制模块分为了两个相对独立的部分,增强了电路的灵活性.其中模拟输出模块由自检测电路,时序产生器,梁驱动电路,偏置电压／电流产生器,前置放大器,解调器及低频放大滤波器七个部分组成,脉宽调制模块由充电电流产生器,充放电状态转换控制器,积分器及比较输出电路部分组成.
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