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氧化钒是一个非常复杂的体系,作为优良的电子材料,本身有较高的电阻温度系数(TCR),因此在非制冷红外探测器件以及红外成像等领域具有突出优势。到目前为止,氧化钒薄膜材料仍然是红外探测器件热敏电阻的理想材料。可用于非制冷红外探测器的氧化钒薄膜分为有相变特性的和无相变特性的,而无相变的氧化钒薄膜可以避免相变带来的热滞现象对器件性能的影响。该探测器对使用的热敏电阻型薄膜有两个特性要求:合适的电阻温度系数,一般不能低于于-2%/K;较低的室温电阻率,应小于10Ω·cm。本文研究对象是无相变的氧化钒薄膜,制备方