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普通光学显微镜由于受到衍射极限的制约,无法观察到尺寸比光波长二分之一更小的物体,因此如何突破衍射极限成为了一个重要的课题。近年来,微球辅助显微镜成像的方法被证明具备超分辨成像的能力,并已经发展成一种简单,有效的获得超分辨成像的方法。本文在此背景下,结合课题组情况,从以下几个方面进行了研究:(1)使用软光刻技术制备了一种微球透镜阵列,介绍了光刻加工的详细步骤,说明了工艺过程中的重要注意事项并例举了可能出现的错误情况。实验发现该微透镜阵列辅助显微镜能同时获得多个微透镜的超分辨成像,提高了微透镜成像的视场