由于SF6具有优良的绝缘和灭弧性能，作为气体绝缘组合电器(Gas InsulatedSwitchgear，GIS)的绝缘介质可大大提高绝缘强度，因而被广泛地应用于GIS设备内绝缘中。然而，GIS设备内部因绝缘缺陷产生的局部放电(Partial Discharge，PD)或局部过热(Partial Overheating，PO)等潜伏性故障会使SF6气体发生不同程度的分解，生成一系列低氟化硫成分(SFx)，而气室中存在微量水分和氧气以及有机固体绝缘材料，生成的SFx会与之发生化学反应，进一步生成如SOF2、SO2F2、CF4、CO2和HF等特征组分。研究表明:通过检测GIS设备内的特征组分，可以对设备的绝缘情况进行在线检测和故障诊断以及状态评估。　　利用SF6分解组分对GIS绝缘状态进行诊断，首先需要解决的一个关键技术难题是对SF6在PD或PO下发生分解进而生成的特征组分的定性和定量检测问题，这直接关系到对设备故障性质和程度判断的准确性。目前，国家有关部门正在建立相关在线和现场SF6故障分析仪器的检定规程和校准规范以及分解产物定量分析的标准。这些规程、规范或标准在制定和执行中必须以量值准确可靠的标准物质作为技术支撑。　　依据已有的国家标准、规程和规范执行要求，作者采用称量法，研究以SF6为背景气的气体标准物质的制备过程与方法，得到CO2/SF6、 CF4/SF6、 SOF2/SF6、SO2F2/SF6四种标准气体（物质）和一种工作校准气体HF/SF6。依据国家标准(GB/T5274-2008，ISO6142:2001IDT)制备标准气体，同时按照《国家一级标准物质技术规范》以及ISO导则35，采用了适用的分析方法，考察了所研制的SF6分解特征气体CO2、 CF4、 SOF2、 SO2F2和HF以/SF6为背景气体的五种气体（物质）短期稳定性、压力稳定性以及长期稳定性等基本属性，分析结果表明:CO2/SF6、CF4/SF6、SOF2/SF6和SO2F2/SF6的不确定度均小于0.2％，HF/SF6相对标准不确定度小于0.6％。充分证明CO2/SF6、 CF4/SF6、 SOF2/SF6、 SO2F2/SF6四种标准气体（物质）和一种工作校准气体HF/SF6短期稳定性、压力稳定性以及长期稳定性良好，可用用于SF6分解特征组分的定量分析。　　目前，本文研制的CO2/SF6、CF4/SF6、 SOF2/SF6、 SO2F2/SF6四种标准气体（物质）和一种工作校准气体HF/SF6，已为中国计量研究院所属部门认同。该研究成果丰富了我国相应标准物质的内容，为后续利用SF6分解特征组分诊断GIS设备绝缘故障奠定坚实的技术基础。