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本论文选用自蔓延高温合成的AlN粉体为原料，利用空心阴极等离子技术，用Y2O3-CaO-Li2O这一三元系统作为烧结助剂，制备出了致密度高，导热性能好的AlN陶瓷。 通过对圆筒形空心阴极放电特性的研究，确定把空心阴极作为本课题A1N陶瓷的烧结方法，指出了空心阴极运用于陶瓷烧结的可行性和技术优势。通过热力学分析和空心阴极的烧结试验，确定了合适的烧结助剂，指出了烧结助剂的促烧机理，探索了不同烧结工艺参数对制备高性能AlN陶瓷的影响。通过对烧结体微观结构的观察，指出了微观结构对A1N陶瓷热导率的影响。 AlN陶瓷的空心阴极的烧结试验研究结果表明：空心阴极是烧结AlN陶瓷的有效烧结方法，Y2O3-CaO-Li2O是AlN陶瓷空心阴极效应烧结致密化的有效烧结助剂。本文对Y2O3-CaO-Li2O这一助剂，在烧结助剂数量、烧结温度、保温时间和其致密度的关系进行了系统的研究，得到了最佳的工艺参数。实验表明：在1700℃，保温3小时的烧结条件下，添加5.5wt％Y2O3-CaO-Li2O（wtY203：wtLi20：wtcao=44：6：5）烧结体具有最高98．88％的相对密度，热导率为93．8 w／（m．K）。SEM表明：晶粒生长完善，大部分显多边形形状，晶界相和气孔少，AlN相是连续的且紧密接触，断裂形式为穿晶断裂。TEM表面：晶界相少，且基本上都存在于三角晶界。