【摘 要】
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随着微机电系统技术的发展对微型制件需求的不断增长，以传统的微细加工方法成形微小制件难以满足微系统的应用要求，而用微电铸工艺成形的微小制件，具有生声效率高，制件质量稳定等优点，成为微成形加工领域的重要工艺发展方向。微电铸，又称精密电铸，是一种结合了传统电铸工艺和集成电路制作技术的全新的微细加工技术。 本文综述了微电铸技术的产生、发展、应用情况和国内外研究现状，参照已有电铸工艺提出了一套硅基电铸
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随着微机电系统技术的发展对微型制件需求的不断增长，以传统的微细加工方法成形微小制件难以满足微系统的应用要求，而用微电铸工艺成形的微小制件，具有生声效率高，制件质量稳定等优点，成为微成形加工领域的重要工艺发展方向。微电铸，又称精密电铸，是一种结合了传统电铸工艺和集成电路制作技术的全新的微细加工技术。 本文综述了微电铸技术的产生、发展、应用情况和国内外研究现状，参照已有电铸工艺提出了一套硅基电铸镍铁合金的微电铸工艺流程。 研究了微电铸理论，设计制作
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