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铁电薄膜具有铁电性、压电性、介电性、热释电性、光折射效应、电光效应和非线性光学效应等一系列特殊的物理性质,在非易失性铁电存储器(FeRAMS)、微机电系统(MEMS)、现代微电子等领域有着广泛的应用前景。有关铁电薄膜材料的研究是目前高新技术研究的热点之一。随着铁电器件尺寸的减小,铁电材料的纳米尺度微区物理特性,包括铁电畴结构的形成、铁电畴极化和退极化行为等方面的研究吸引了该领域众多研究人员的关注。现有的铁电畴检测手段,如偏光显微镜、化学腐蚀法、透射电镜、扫描电子显微镜等存在诸如制样繁琐、