本文在非接触激光多普勒光学测量方法基础上,对U3000型粗铝丝引线键合机中劈刀的稳态振动进行了实验研究:对激光多普勒测振仪的测量原理作了简要的说明;对超声键合装置中,劈刀在不同连接松紧度下的稳态振动特性作了实验测试和初步分析;对在不同连接松紧度下,劈刀的稳态振动进行了实验模拟。主要研究内容如下:(1)对非接触激光多普勒测振仪的光学测量方法、测振基本理论及差动技术作了探讨。另外,还简单介绍了其它几种常见激光非接触测量方法。(2)利用激光多普勒测振仪,对U3000型粗铝丝引线键合装置中,劈刀在不同连接松紧度下的稳态振动进行了扫描测试。并利用激光多普勒测振仪测量软件的数据采集功能和LabVIEW软件平台的数据采集系统,使用Matlab软件对稳态振动的实验数据进行了分析处理,得到不同连接松紧度对劈刀稳态振动特性的影响规律。(3)根据弹性梁弯曲振动的基本理论,对超声键合装置中劈刀连接结构作了分析研究。通过对振动实验现象的分析和数据的处理,得到在不同松紧度下,劈刀稳态振动的近似模型。本文的研究为超声倒装键合机理的深入探索和超声键合过程监控系统的研制提供了若干参考,这将对优化设计超声振动系统、提高超声能量的利用率有一定意义。