世界经济一体化过程中,外商直接投资对经济发展的推动作用从理论和实践上得到了验证,当前世界经济整体低迷的背景下,各国加大引进外商直接投资力度,中国着眼于国内外形势变化,强调要进一步积极利用外资,营造优良营商环境,继续深化简政放权、优化服务改革,降低制度性交易成本,更好地实现互利共赢、共同发展。作为中国典型能源基地,山西省利用外商直接投资发展较快,新批项目数量和利用外商直接投资额均呈量级增长趋势,投资领域从早期的一般加工项目向高附加值产业扩展,外资来源地也不断增加,促进了山西省经济的发展,带动了相关企业的技术和管理水平的提升。制造业作为国民经济的支柱产业,是技术创新的基本源泉,也是山西省经济增长的原动力。在2005-2015年期间,山西省制造业累计利用外商直接投资额比重近三成,促进了山西省经济的发展。本文通过DEA数据包络分析法计算山西省制造业2005-2015年间的全要素生产率,及其分解指数(技术进步与技术效率),利用面板模型,采用水平技术溢出、前向技术溢出、后向技术溢出三个指标,从技术溢出机制视角分析外商直接投资对山西省制造业全要素生产率的影响。研究发现,外商直接投资促进了山西省制造业全要素生产率的增长,水平技术溢出效应和后向技术溢出显著的正向影响,前向技术溢出效应也是正向的影响但不显著,其中技术进步发挥了重要作用,但是过度依赖外资技术,则会阻碍企业全要素生产率的提高。鉴于此,本文认为山西省制造业引进外商直接投资时通过人才交流合作,促进示范效应、人员培训和流动效应以及竞争效应等水平技术溢出效应的发挥。加深外资企业与本土制造业企业垂直方向上的联系,加快融入外资企业全球价值链,提高产品的竞争力,以加大外资企业对本土上游企业中间产品的购买力,促进后向技术溢出效应的发挥,同时在采购外资企业产品,消化吸收的过程中,山西省制造业企业应该更加注重提高自主创新能力,带动企业全要素生产率的提升。