气浮支承由于具有均化误差、无污染及寿命长等优点越来越广泛应用于支承ITO导电玻璃等精密零部件。随着导电玻璃尺寸大型化及厚度轻薄化,导电玻璃的在线运输及光学检测对气浮支承提出了越来越高的要求。本文基于气体润滑及板壳变形理论,针对ITO导电玻璃气浮传输系统参数优化问题,完成了以下研究工作:(1)基于气体润滑理论建立了气浮系统中气膜面上的压力分布方程;基于有限差分建立了连续气浮力作用下导电玻璃小挠度弯曲的数学模型;(2)对不同供气模式及不同负压进气孔排布方式下的气膜流场特性进行了分析;以有限差分法计算了3种进气孔间距下导电玻璃挠度值并与Ansys结果进行比较,并结合不同进气孔间距下的气浮性能,设定了进气孔间距的合理范围。(3)在单元优化的基础之上对气浮系统整体进行三维建模,利用Fluent及Ansys workbench单向流固耦合模块,详细分析了气浮间隙、节流管道长度及气腔半径改变对气浮性能、消耗的气体质量流量及导电玻璃小挠度弯曲变形的影响,综合多方面考虑给出了气浮间隙、节流管道长度及气腔半径参数的合理取值范围。(4)结合理论分析及仿真优化结果,在导电玻璃模态分析的基础上给出了导电玻璃稳态运动的临界速度。(5)在理论研究与仿真分析基础上,研制了导电玻璃缺陷光学检测仪器气浮系统,仪器性能达到了设计任务书要求。本文研究成果对ITO导电玻璃缺陷光学检测仪器气浮系统设计提供了理论参考,对同类仪器的气浮系统设计具有普遍的参考价值。