随着微型化进程的深入,将有越来越严重的微尺度传热问题需要解决。在微尺度测量方法中,3ω法是一种新的交流测量技术,这种技术将微结构的热分析从“时域”转向了“频域”。针对目前对频域内3ω法的研究匮乏的现状,有必要对采用3ω法在各种条件下的应用进行传热分析,为其以后的应用和改进提供一定的理论参考。　　 本文针对3ω法测量微结构主要进行了以下的研究：⑴将3ω法应用于薄膜热物性测量时,采用比值函数模型,引入取决于3个无量纲参数(薄膜的综合热力性质、几何尺寸以及被加热器的线宽)的比值函数R,将3ω导热问题的控制方程无量纲化,系统研究了测量误差,并绘制了比值函数关于K,Bif和Hr的一维和二维曲线。⑵对多层膜结构的热阻抗进行了模拟,计算了不同材料复合结构的热阻抗,绘制了不同边界条件下的表面热阻抗曲线和热阻抗蓝图,并讨论了接触热阻、基底厚度、薄膜厚度以及基底边界条件对表面热阻抗的影响。⑶计算了运行在交流模式下的SThM(扫描热显微镜)的温度和电压,分析了电流、试样热导率、探针物性等对测量结果的影响,采用碳纳米管作为新型探针,并对其优点进行了相关的分析讨论。⑷研究了3ω线法在气体热导率测量中的应用,对其一维和二维解析解分别进行了热分析,并且分析了微探测器的热容效应、端部效应以及纳米线的端部效应对测量结果的影响。