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近些年来,光电技术、精密制造加工、纳米科学、航宇工程等领域对精密定位技术提出了越来越高的要求,如需要亚微米或纳米级的定位分辨率,精细的运动控制等。非共振式压电直线作动器具有精度高、响应快、可自锁等特点,有望应用于新型精密运动平台的作动之中。本文研究的双足压电直线作动器,是以压电叠堆为作动单元的一种非共振式作动器,在大行程下依然具有精度高、响应快、推力大的特点,应用于精密二维运动平台时具有较大的优势。本文的主要研究内容如下:介绍了压电精密运动平台的应用背景及其特点,概述了压电作动技术的研究现状;比较了