微型移动机器人结合仿生技术,并应用新材料和新工艺,逐渐成为机器人领域的一大研究方向,移动机器人的微型化和智能化也成为了必然的发展趋势。本论文基于压电式驱动仿生蚂蚁机器人的研究融合了多领域学科,包含仿生学技术、运动学与动力学、机构设计学、小尺度高效驱动技术、微控制技术、微系统加工技术和微能源等诸多方面,结构设计上具有一定的创新性。本论文主要从结构设计、柔性铰链设计、动力学模型、压电驱动器的设计与优化、微系统加工工艺研究、测试平台搭建和实验研究等方面对仿生蚂蚁机器人进行了相关研究。首先,基于蚂蚁运动机理完成了仿生蚂蚁的运动单元节与柔性背脊的结构设计,建立了整机的三维结构模型,又从动力学模型出发,分析仿生蚂蚁稳定运动的条件,为其进一步的研究奠定了较好的基础。其次,完成了双晶片压电驱动器的结构设计与优化。然后,从微系统加工工艺角度完成了压电式微型仿生六足机器人不同零件的加工工艺研究,组装出仿生蚂蚁结构模型。最后,本论文搭建了适用于微型仿生六足机器人压电驱动器的测试平台,并完成压电驱动器的性能测试和分析了其对整机运行的影响。本论文为微型仿生六足机器人领域的研究提供了一种新颖的方法,运动单元节与柔性背脊的设计对今后进一步的结构设计与理论研究具有一定的指导意义。