微带线滤波器用高Q值微波介质陶瓷的制备及性能研究

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  1、为提升MgTiO3微波介质陶瓷的品质因数,通过低熔点氟化物MgF2掺杂形成液相促进陶瓷致密化烧结过程,并以过量镁元素掺杂改善陶瓷晶相。在此基础上进行如下分析:(1)探究了R-P相结构对品质因数的影响机理;(2)基于体积密度表征以及漏导电流变化趋势,建立了微波介质陶瓷微观结构与介电性能间的作用关系。最终制备MgTiO3-3wt%MgF2样品具有如下微波介电性能:εr=18.09,Qf=262,900GHz(@8.98GHz),τf=-41.5×10-6/℃,有望满足5G微波通信的低损耗应用需求,但谐振频率温度系数需要进一步改进。
  2、为调节MgTiO3微波介质陶瓷的负谐振频率温度系数近零,采用具有正谐振频率温度系数的(Ca0.8Sr0.2)TiO3体系进行复合。通过分析复合体系的物相组成与微观结构,建立微波介质陶瓷介电性能与物相组成之间的内在关联。最终制备3wt%MgF2掺杂0.95MgTiO3-0.05(Ca0.8Sr0.2)TiO3样品具有如下微波介电性能:εr=19.99,Qf=90,100GHz(@8.72GHz),τf=-2.9×10-6/℃,满足低损耗微带线滤波器基板应用需求。
  3、基于MgTiO3-3wt%MgF2陶瓷基板研发了一款4阶6.1GHz的C波段平行耦合微带线滤波器。基于AgilentADS软件系统分析了基板各性能参数对滤波器S参数的影响。最终测试结果:滤波器中心频率f0=6.1GHz,相对带宽FBW约6.5%,带内插入损耗|S21|小于3dB,最优值1.18dB,带内回波损耗|S11|大于15dB,5.4GHz处|S21|值衰减大于30dB,6.8GHz处|S21|值衰减大于20dB,为5G网络C波段微波系统实现提供了新的器件选择,具有重要的应用价值。
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