随着现代工业的迅速发展和城市规模的日益扩大，振动对生产和生活环境的影响越来越大，而现代高科技生产设备对振动的要求却越来越严格，因此对防微振平台振动控制的研究成为工程界面临的重要课题之一。本文结合广东省某半导体公司手机芯片生产平台的防微振测试和分析计算，对防微振平台结构在场地微动作用下的振动进行了研究。本文结合振动控制要求，对该工程的自由场地微动进行现场测试，并且对自由场场地微动的时域、频域特性进行分析，得到防微动平台时程分析输入的速度时程曲线。然后运用通用有限元软件，分析该防微振平台的自振特性和场地微动作用下的振动响应，并分析讨论了防微振平台的梁截面、柱截面、底板厚度及防微振墙布设、混凝土材料阻尼等对防微振效果的影响，为防微振平台的优化设计提出合理建议。最后，分析了考虑地基影响时防微振平台的振动特性，并与仅考虑上部结构的振动分析结果进行对比，验证表明针对该工程仅考虑上部结构的振动分析方法是可行的。