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由于太阳辐射中10 nm~280 nm的紫外波段很难透过大气层到达地表,因此对日盲紫外波段进行探测的技术成为了低噪声干扰、高探测率、高灵敏度的紫外辐射探测手段,在最近几十年受到了国外科研人员的高度重视。其中,基于宽禁带材料的固态日盲紫外探测器件的研制和应用最为热门。相比AlGa N、ZnMgO等材料,氧化镓天然地拥有合适的带隙宽度(约4.9 e V),从而避免了复杂的合金化工艺,能够在更低的成本与方式下制备,因此格外适用于日盲紫外探测。本文主要采用分子束外延装置在c面氧化铝衬底上外延制备beta-氧