本论文采用反应磁控溅射制备了NbCN复合膜、NbSiN复合膜以及NbSiNN/VN纳米多层膜。采用EDS、X射线衍射仪、纳米压痕仪、高温摩擦磨损仪表征了薄膜的成分、微结构、硬度以及室温和高温摩擦磨损性能。研究了C靶功率对NbCN复合膜的微结构、力学性能以及摩擦磨损性能的影响；Si含量对NbSiN复合膜的微结构、力学性能和室温及高温摩擦磨损性能的影响；并研究了不同VN膜层厚度对NbSiN/VN多层膜结构、力学性能和室温及高温摩擦磨损性能的影响,讨论了多层膜的致硬机理和磨损机制。研究表明：NbCN复合膜为面心立方结构,呈NbN(200)择优取向；C的加入,使薄膜的力学性能得到改善,随着C靶功率的增加,复合膜的硬度先增大后减小,在C靶功率增加到90W时,NbCN复合膜的硬度达到最大值,为30.3GPa；室温摩擦磨损实验结果表明,随着C靶功率的增加,NbCN复合膜的摩擦系数逐渐降低,当C靶功率增加到120W时,摩擦系数降至最低为0.323。NbSiN复合膜为面心立方结构,呈NbN(200)择优取向；少量Si的加入使得复合膜得到强化,在Si含量为20.29at.%时硬度达到最大值32.1GPa,随着Si含量的进一步增加,复合膜的硬度逐步降低。室温和高温摩擦磨损研究表明,在室温时,随着Si含量的增加,NbSiN复合膜的平均摩擦系数在0.60～0.68之间波动；在650℃时,随着Si含量的增加,复合膜的平均摩擦系数呈减小趋势；650℃时的平均摩擦系数低于室温下的平均摩擦系数与氧化物的生成有关。在NbSiN/VN多层膜中,随着VN膜层厚度增加,多层膜由V2N(110)择优取向转变为VN(111)择优取向。在VN膜层厚度为5nm时,硬度达到最大值,为26.1GPa。摩擦磨损性能的研究表面,在室温和高温时,随着VN膜层厚度的增加,多层膜的摩擦系数均呈减小趋势。室温时,在VN膜层厚度增加到5nm时平均摩擦系数最低为0.386；高温650℃时,VN膜层厚度为10nm,多层膜平均摩擦系数最低为0.289；高温时平均摩擦系数降低与自润滑性V20s的生成有关。