【摘 要】
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半导体生产线是目前世界上公认的最复杂的制造系统,由于其自身的特点(设备数量众多,生产周期长,带重入循环等),与传统的Flow-Shop与Job-Shop模型存在很大的区别。因为半导体
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半导体生产线是目前世界上公认的最复杂的制造系统,由于其自身的特点(设备数量众多,生产周期长,带重入循环等),与传统的Flow-Shop与Job-Shop模型存在很大的区别。因为半导体制造是高投资、高收益、高风险和竞争最为激烈的产业之一,对半导体生产线的建模与优化成为近年来学术界和工程界研究的热点。传统的运筹学优化方法很难求解这类NP-Hard问题,仿真建模是解决这类问题的重要方法。本文运用离散事件仿真技术,建立基于SEMATECH数据集的FAB仿真模型,利用面向对象的C++开发了一个FAB投料和分派控制系统的仿真软件平台。仿真结果表明:改进投料方式获得的系统性能的改善远远大于分派策略的改进;通过蚁群算法来进行Lot的分派效果优于基于启发式的调度方式。模拟在已经稳定生产的生产线上投入新的产品,并仍然保证生产线的稳定与产量。
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