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光谱仪器的微型化、集成化是其发展的一种趋势。激发源的微型化对光谱仪器的微型化有重要作用。目前,电感耦合等离子体(ICP)激发源在原子发射光谱分析仪器中应用最为广泛,所以关于微型ICP激发源的研究对原子发射光谱分析仪器的微型化有重要影响。本论文主要研究并改进微型ICP激发源的激发性能。研究了微型ICP激发源的工作气体选择和背景光谱,理想工作的参数选择和电子激发温度,实验激发甲烷、丁烷等样品气体并对其激发谱线进行检测分析,做出了定性判断。本文简要综述了光谱仪器的发展趋势及微型ICP激发源的研究现状。对原子发射光谱的产生原理、元素定性定量分析原理及分析方法等做了简单介绍。采用荷兰爱万提斯(Avantes)公司的AvaSpec-3648-USB2型微型光纤光谱仪,对氩气、空气、氩气空气混合气体的激发谱线进行检测,检出27条氩原子谱线、22条氮气分子谱线,即微型ICP激发源的工作背景谱线。对比得出了氩气比空气更适于作为工作气体的结论。根据激发氩气谱线强度,实验研究了微型ICP激发源的工作参数选择及氩气电子激发温度。理想工作时,微电路组件平面螺旋线圈匝数为3匝,外径为10 mm。氩气谱线强度随RF功率增加而增强,随工作气压增加先增大后减小,较理想RF功率为18~22 W,较理想工作气压为50~70 Pa。氩气电子激发温度随RF功率和工作气压的升高而升高,计算得出氩气电子激发温度在1600~3000 K之间。微型ICP激发源对甲烷和丁烷样品气体进行激发及谱线检测,分别检出22条甲烷基团发射谱线和13条丁烷基团发射谱线。同时对乙醇、乙炔等样品气体进行了类似实验,未观测到样品气体的相应谱线。研究结果表明,微型ICP激发源可用于甲烷、丁烷的定性分析。随着下一步的研究,该微型ICP激发源有望成为一种新型气体样品激发源而应用于光谱仪器中。