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微型机械由于具有广泛的应用领域和潜在的应用前景,已受到世界各国的重视,并纷纷投巨资进行研究.经过对微型机械二十多年的研究,虽然取得了很多成果,但是微型机械发展仍面临加工困难且费用高的挑战.该文就是针对上述问题,分析研究了加工工艺简单、分辨率高、三维成形能力强、周期短和成本较低的双光子吸收光型微细加工技术,并进行了双光子吸收光成型微细加工系统分析设计以及微型机械光成型微细加工工艺分析研究.