【摘 要】
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21世纪,MEMS加速度计因其可批量生产的优点,已被广泛应用于汽车、智能手机、可穿戴设备等多方面民用产品中,但对于航空、工业机器人等对性能要求极高的应用领域则相对匮乏。究其原因是因为低成本的MEMS加速度计系统中的运放大多是由CMOS工艺制成的,而这样的运放本身存在很大的热噪声与1/f噪声。电路设计人员一般通过设计更大体积的器件或需要更多电流带动的器件来减小1/f噪声,而这样就必然会增加不必要的成
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21世纪,MEMS加速度计因其可批量生产的优点,已被广泛应用于汽车、智能手机、可穿戴设备等多方面民用产品中,但对于航空、工业机器人等对性能要求极高的应用领域则相对匮乏。究其原因是因为低成本的MEMS加速度计系统中的运放大多是由CMOS工艺制成的,而这样的运放本身存在很大的热噪声与1/f噪声。电路设计人员一般通过设计更大体积的器件或需要更多电流带动的器件来减小1/f噪声,而这样就必然会增加不必要的成本与功耗;另一种减小1/f噪声的方法则是通过各种滤波方法实现,虽然这些滤波方法可以很好去除带外噪声,但对
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