基于多孔PDMS的柔性压力传感器设计及制备

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为了克服现有文献中提出的柔性压力传感器制备中存在制备工艺复杂、成本高、不易扩展等问题,本文提出了一种基于多孔PDMS的柔性压力传感器制备方法,并探究了多孔PDMS的孔径大小和结构化外形对基于多孔PDMS的柔性压力传感器性能的影响。首先,本文探究了多孔PDMS的制备方法,选取了工艺简单、成本低廉、无毒环保的盐模板法并对该方法进行了创新性改进和优化,通过在制备过程中引入微区溶合处理,大大改善了制备出的多孔PDMS的材料特性,制备出的多孔PDMS,其内部孔径大小可控,通过使用模具可以一次性获得结构化外形,粒子残留量极低,孔隙互联互通性较好。同时,总体制备速度也有了较大的提高。此外,本文提出的采用真空抽气法来制备导电化多孔PDMS,效果良好,也为制备柔性压阻材料提供了一种新的途径。其次,本文分别探究了多孔PDMS的孔径大小和结构化外形对基于多孔PDMS的电容式和电阻式柔性压力传感器性能的影响。在基于多孔PDMS的电容式压力传感器的研究中,多孔PDMS的孔径大小和结构化外形都对传感器性能产生重要影响。基于多孔PDMS的电容式压力传感器的灵敏度可通过改变多孔PDMS的孔径大小和结构化外形来调控;在基于多孔PDMS的电阻式压力传感器的研究中,多孔PDMS的孔径大小对传感器性能有一定的影响,而多孔PDMS的结构化外形对传感器性能却影响不大。
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