光学市场正处在蓬勃发展期,光学元件在我们生活和生产中的应用变得日益广泛,不仅用于光学工程领域,也被广泛地应用于微电子技术、通讯、宇航工程等各种不同的领域。光学元件的制造与检测密不可分,在众多检测方法中,干涉法检测光学元件参数和质量具有精度高、非接触及操作便捷等优点,被广泛应用于快速测量及高精度检测中。本文利用白光相干长度短的特点,结合迈克耳孙干涉仪的使用,对薄玻璃厚度一致性进行了检测研究,实验中只在干涉仪的单一光路同时插入材料相同的两薄玻璃片,对比白光通过两薄玻璃片产生的干涉图样,判断其厚度是否一致,对相差较大的进一步测出厚度差值,检测方法方便快捷且精度得到提高。基于光干涉理论,对应用计算全息图(CGH)检测凹非球面的方法进行了改进研究,将计算全息图与传统光学补偿镜相结合来对凹非球面进行检测,简化了补偿系统的结构。借助光学设计软件Zemax,给出了设计实例及相应结果,相比传统的补偿系统,这种只需要一个带有全息图的补偿镜即可实现对凹非球面的检测,在保证高精度测量的同时降低了检测成本,缩短了检测周期。对薄玻璃厚度一致性的检测和大口径非球面面形的检测都是基于光干涉原理,通过比较干涉结果实现对光学元件质量的评定。经过与其他实验方法作对比,可以看到利用光干涉法检测薄玻璃厚度一致性和非球面面形不仅达到了高精度、非接触的检测效果,而且优化了检测系统结构,节约了检测时间和相关费用。