高压真空灭弧室是一种供配电用的电器装置，用于高压供配电线路开关中，起分断电流的作用。作为高压真空断路器的核心元件，高压真空灭弧室的结构和其本身的绝缘性、真空度等一些特性，以及真空工艺、材料等技术水平，这些都决定着真空断路器的机械寿命和电气寿命。与中压等级真空灭弧室相比，高压真空灭弧室的耐压问题特别重要，要求其内部具有更高的绝缘水平，这些问题都需要在对其设计的过程中考虑并解决。首先以72.5kV高压真空灭弧室作为研究对象，分别从轴向和径向两个方向阐述了真空灭弧室内部主要零部件的经验公式和计算过程，为有限元参数化建模及有限元分析和优化设计提供参数依据，并为后续的高压真空灭弧室CAD参数化设计系统的开发提供了相关零部件参数的数据来源。其次介绍了ANSYS结构建模分析和优化设计的基本理论与方法，将ANSYS强大的有限元分析、优化设计功能和我国72.5kV高压真空灭弧室设计规范相结合，以真空灭弧室内部几何尺寸为设计变量，以真空灭弧室内部电场强度方差值为目标函数，基于ANSYS参数化设计语言APDL，选用一阶优化方法，用APDL进行有限元参数化建模，编写结构分析文件和优化控制文件，对该结构做优化设计，最终得到一个较优的设计序列，并对结果进行比较，表明采用本文提出的方法是有效和可行的。参数化设计能够大大提高模型的生成和修改的速度，从而提高企业的工作效率和工作质量。最后基于真空灭弧室具有系列化、通用化和标准化程度很高这一特点，探讨了建立真空灭弧室参数化CAD系统的必要性，提出以AutoCAD作为开发平台，利用ObjectARX2000作为二次开发工具，采用VisualC++6.0面向对象高级开发语言，对高压真空灭弧室零部件进行参数化建模。