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本文阐述了用反应磁控溅射方法制备氮化钛及其复合薄膜(镀层)的发展历史;综述了氮化钛薄膜的结构、性能和应用;分析了(Ti, Al)N复合薄膜相对于氮化钛薄膜的优势,并指出了其发展方向;总结了目前氮化钛及其复合薄膜的主要制备方法和主要的表征手段。在此基础上选用直流反应磁控溅射的方法在不锈钢和铁基体上成功地沉积了氮化钛及其复合薄膜。通过摸索实验参数,得到了不同组织结构和性能的薄膜。对所制备的薄膜开展了电化学试验,分析了制备条件对薄膜耐蚀性的影响,研究了复合薄膜对氮化钛防腐性能的改善作用,理论分析了复合膜的