伴随着半导体技术和电子产业的蓬勃发展,芯片的缺陷检测技术在整个工业生产过程中扮演的角色也越来越重要。相比于传统的人工检测技术,基于机器视觉的表贴芯片缺陷检测技术作为一种灵活的、实时的、非接触式的、高精度的检测技术,应用也是日益广泛。本文主要对基于机器视觉的表贴芯片的缺陷检测技术进行了研究,在此基础上实现了对表贴芯片外观尺寸的缺陷检测。文中对表贴芯片图像的预处理技术和表贴芯片的缺陷检测技术进行了重点研究。主要工作如下:(1)使用直方图均衡化以及改进的中值滤波算法对芯片图像进行了增强处理。(2)通过将传统的图像边缘检测算法、改进的Canny边缘检测算法以及改进的基于蚁群的图像边缘检测算法进行实验结果对比,最后采用改进的Canny边缘检测算法实现了表贴芯片的边缘检测。(3)通过对基于边缘检测的芯片引脚宽度和间距尺寸检测和基于二值化后的芯片引脚长度等特征参数的计算,实现了对表贴芯片外观缺陷的准确检测和识别。(4)设计了芯片缺陷检测系统,给出了系统软硬件设计和实现的技术细节,并在设计的软件平台上应用上述方法实现了对芯片外观缺陷的检测。