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用于MEMS气体传感器的检测芯片设计与实现

来源 :中国科学技术大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yueer40849263

【摘 要】

：

在全面进入信息电子化时代的社会中,人们需要获取的信息种类、信息数据越来越多,传感器是获取电子信息的重要媒介,它能将自然界的非电量信息转化成人们可测量可认识的电量信息。其中气体传感器作为现如今常用的传感器之一,已经深入到了生活中的方方面面,如在环境监测、家庭安全、工业安全和航空航天领域等等,MEMS气体传感器则作为气体传感器中的佼佼者更是得到了广泛的应用。MEMS气体传感器的检测原理是对其阻值的测量

【作 者】

：

陈闽强 

【出 处】

：

中国科学技术大学

【发表日期】

：

2019年08期

【关键词】

：

MEMS气体传感器 检测电路 RTF 高稳定性 

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