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本学位论文结合国家自然科学基金项目:城市轨道交通激励下高精密设备平台微振动混合控制(项目批准号: 50578058),对高精密设备隔振平台进行混合控制的理论与仿真研究。自从20世纪80年代以来,微机电系统(MEMS)技术迅速发展为一个新兴的科学技术领域。在制造、测量微机电系统器件时,需要一个非常稳定的高精密设备隔振平台。高精密设备隔振平台需要隔离的环境干扰是复杂的,不仅要求隔离如大地脉动、机器运转、车辆行驶、人员走动等引起的地面振动,还要求对空调气流、声音、马达等引起的作用于平台的振动能