【摘 要】
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超精密加工与半导体产业的快速发展对微纳米测量技术也提出了更高的要求。传统的接触式测头测量效率较低,对越来越复杂的表面形貌结构难以探测且容易划伤表面。本文以白光干涉术为基本原理,设计完成一整套白光干涉测量仪并对系统进行了性能测试及溯源性分析。具体工作总结如下:1.设计并搭建了白光干涉系统,其中包括机械支撑结构、光学干涉模块、图像采集模块、运动驱动等。编写了实验测试上位机软件,完善了人机交互软件。2.
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超精密加工与半导体产业的快速发展对微纳米测量技术也提出了更高的要求。传统的接触式测头测量效率较低,对越来越复杂的表面形貌结构难以探测且容易划伤表面。本文以白光干涉术为基本原理,设计完成一整套白光干涉测量仪并对系统进行了性能测试及溯源性分析。具体工作总结如下:1.设计并搭建了白光干涉系统,其中包括机械支撑结构、光学干涉模块、图像采集模块、运动驱动等。编写了实验测试上位机软件,完善了人机交互软件。2.对白光干涉术的算法进行了研究。本文研究了时域算法,包括插值法、重心法;频域算法,包括傅立叶算法、空间频域
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