在油田开发阶段，运用更精细的地震方法配合增产措施可以找到更多的可采储量，三分量地震勘探技术应运而生，当下正在成为石油勘探地震的主要技术。作为地震检波器的敏感元件，简谐振子的性能对整个地震勘探工作至关重要。本课题来源于国家自然科学基金，结合微光机电系统和三分量勘探技术，首先分析比较已有的三分量加速度地震检波器简谐振子，对其进行结构优化设计，设计微光机电系统三分量加速度地震检波器简谐振子。其次分析三分量加速度地震检波器的静态特性、动态特性及其固有频率。再次采用有限元法创建简谐振子质量块的实体模型，并对其进行三维静力分析和模态分析。最后探讨三分量地震检波器简谐振子的微加工技术及制作工艺。采用有限元法对简谐振子质量块的研究分析结果可为三分量加速度地震检波器的减振设计和进一步的研制提供理论依据。