PVD涂层与辅助工艺研究

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上世纪六十年代末,刀具涂层技术问世,刀具的综合性能因此得到了大幅度地提高,特别是经过PVD涂层的高速钢刀具,其既获得了具有更高耐磨性和红硬性的表面,又保持了高速钢所具有的韧性。涂层的应用极大地提高了刀具的加工能力和使用寿命,为现代机械加工制造业的进一步发展提供了必要的技术基础。   涂层技术在刀具领域的成功应用,引起了世界各国制造业的高度重视,人们竞相开发高性能的涂层、高可靠性的涂层设备,而对涂层辅助工艺的研究缺乏重视。探讨涂层的性能特征及其影响因素,并研究如何通过辅助处理工艺来改善、提高现有技术基础上的涂层性能,对于涂层技术的发展、应用以及保持涂层质量的稳定性有着重要的借鉴与指导意义。涂层技术主要有CVD和PVD,本文着重研究了PVD涂层的性能指标及其辅助工艺,具体内容如下:   ⑴PVD涂层的性能指标与检测方法研究。本文论述了结合力、厚度、表面粗糙度、硬度、涂层内应力等PVD涂层的性能参数并分析了相应的检测方法。   ⑵PVD涂层辅助工艺对涂层性能的影响。PVD涂层辅助工艺有清洗、退涂、毛刺清理、脱气、喷砂、抛光、装卡等。这些辅助工艺对涂层的“后天“特性如结合力、厚度、表面粗糙度、外观等有着及其显著的影响。本文深入地研究了这些辅助工艺的工艺方法、特点并探讨了如何运用这些辅助工艺方法来改善PVD涂层的性能。   ⑶应用案例研究。通过两个典型案例,从质量缺陷的发现及确认,正确选择辅助工艺及其工艺参数,改善试验与验证效果,说明了通过涂层辅助工艺改善质量的过程,同时进一步表明了涂层辅助工艺对涂层质量性能的显著影响。
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